中国智能制造的快速发展、丰富的工业门类以及完备的产业链资源为国内高职发展提供了广阔空间，同时也要求高职尽快提升对产业及社会发展的适应性，高质量服务于高端产业与产业高端。为此，课程的建设与内容更新需要从产业发展前沿寻找源头活水。常州信息职业技术学院工业机器人教研室主任、 “十四五”江苏省职业教育在线精品课程《液压与气动》负责人、涂琴于9月4日参加了在无锡太湖国际博览中心举办的第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC 2025 ），目的在于联络半导体领域智能装备同行，同时了解半导体设备领域流体技术、智能装备及机器人技术的应用，挖掘《液压与气动》课程教学案例。

展会主题为“做强中国芯、拥抱芯世界”，当天，来自全球22个国家和地区1130多家半导体设备、材料以及部件厂商到场参展。据了解，近年来，中国半导体设备的本土制造能力逐渐增强。来自大会的信息显示：2024年中国国产半导体设备销售突破1000亿元人民币，同比增长37.5%。同时，国产半导体设备在中国大陆市场的占有率达到了25.4%，继续保持增长。已成为我国半导体设备及材料领域最具知名度的年度性展会，是集“技术交流、展览展示、产品发布、经贸洽谈、国际合作与市场拓展”于一体的产业盛会。

一天的参会时间，涂琴走访了迅势科技(苏州)有限公司、青岛祥银传动设备有限公司、浙江启尔机电技术有限公司、无锡瓦力科技有限公司、苏州上兮科技股份有限公司、苏州实钧芯微电子有限公司、

上海车仪田科技有限公司、SMC等在内的30多家企业展位并交流。通过观察与交流发现：

1）半导体设备领域流体技术应用广泛，且有多家公司名称直接包含“流体”二字。

2）半导体设备的气体配送、工艺设备气路、CVD、光刻、离子注入、清洗冲洗等环节都需要流体阀门。为保证洁净环境与极致良品率（半导体设备供应商其设备的标准良品率通常至少要达到 99.997%），所需真空阀门居多，多为高真空（10^-5Pa至0.1Pa），或者超高真空元件（10^-5Pa以下）。

3）半导体设备领域流体阀门主要实现的功能主要包括通断/方向控制、流量控制与压力控制，具体名称有所不同。

4）半导体领域阀门要考虑无沉积、无污染等因素以提高良品率，阀门本身结构简化、制造精密度和密封要求极高、电控集成度越来越高。结构型式多样。集成高精密传感与控制的元件国产化率较低，保持着较高利润。但另一方面，考虑到稳定性与响应时间，半导体设备对控制元件要求也极高。比例伺服流体元件主要应用于化学机械抛光（CMP）、湿法蚀刻清洗、溅射、原子层沉积（ALD）等环节。

5）半导体设备技术要素或供应链与高精密制造、医疗器械、人形机器人等领域高度重合。高精密制造领域有长期积累的企业逐渐进入半导体领域，近两年呈爆发增长趋势，为很多成立两三年的半导体设备企业提供有力的技术支撑。

6）半导体设备相关企业的人才需求与智能装备学院相关专业有较大重叠之处。相关专业可以及时融入相关案例资源。

行业案例挖掘之余，涂琴还与个别企业沟通了学生就业方面的信息，为当前及下一届学生的就业实习等提供长期资源。

在学银在线平台上建设的常州信息职业技术学院《液压与气动》课程目前访问量499.7万人次。涂琴、史新民主编的课程配套《液压与气动技术》教材获北京理工大学出版社2024年度职业教育类优秀教材特等奖。课程团队深入展会、企业一线，以及与液压与气动领域同行的长期交流和严谨考证，及时将大国工程、工业应用、生活应用等领域的案例、最新的图形符号标准以及创新技术及时融入到课程中，让内容“新”起来、知识点“活”起来；采用项目化、问题导向、任务驱动式教学，让技术技能与实际场景“融”起来，提升学生与社会学员的学习兴趣与学习效果。即使在寒暑假，课程访问量也不断攀升，让专业知识走出校园围墙，助力更多未来工匠的持续成长。半导体领域应用案例的挖掘与融入将为提高本校学生及课程覆盖学员对当地半导体产业的适应性提供一定支撑，助力产业转型升级与高质量发展。

半导体阀门

磁悬浮泵